变形的原因任何金属加热时都要膨胀，由于钢在加热时，同一个模具内，各部分的温度不均（即加热的不均匀）就必然会造成模具内各部分的膨胀的不一致性，从而形成因加热不均的内应力。在钢的相变点以下温度，不均匀的加热主要产生热应力，超过相变温度加热不均匀，还会产生组织转变的不等时性，既产生组织应力。因此加热速度越快，模具表面与心部的温度差别越大，应力也越大，模具热处理后产生的变形也越大。
内应力的消除还与温度升高时金属强度降低有关。一般钢铁回火时，真空热处理，硬度和强度下降，塑性提高。回火温度越高，这些力学性能的变化越大。有些合金元素含量较高的合金钢，在某一温度范围回火时，会析出一些颗粒细小的金属化合物，中堂真空热处理，使强度和硬度上升。这种现象称为二次硬化。
刀具、轴承、渗碳淬火零件、表面淬火零件通常在250℃以下进行低温回火。低温回火后硬度变化不大，内应力减小，韧性稍有提高。
锻压是装备制造业的基础行业。在机械装备中，锻压产品占比---，如汽车的几乎全部关键零部件（曲轴、连杆、凸轮轴、半轴、传动齿轮等），飞机的承载关键构件（飞机机体中的框、梁、起落架、接头等；发动机中的盘、轴、环等），液压、泵类机械的近一半零部件等。生产这些锻件的模具以及锻压产品，几乎全部都要经过热处理。或为了---材料的成形性能，增城真空热处理，或为了增强零部件的机械性能及表面。真空热处理作为一种的热处理技术，不仅能为很多的锻压产品提供，还能解决传统热处理能耗大、污染环境的问题。
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